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低温泵、冷凝泵低温真空泵是利用10K(-263℃)低温制冷机作为冷源,通过低温冷凝、低温吸附的原理获得无油高真空的设备。的详细信息低温真空泵广泛应用于: 1)半导体、集成电路、光电器件的镀膜工艺过程; 2)光学镜片镀膜; 3)磁控溅射镀膜生产线; 4)空间环境模拟; 5)真空排气台等。 低温真空泵主要特点: 1)低温真空泵是吸附式真空泵,工作时无需前级泵; 2)低温真空泵需要再生; 3)低温真空泵对不同气体具有不同的抽速和抽气容量。 低温真空泵的主要优点: 1)高极限真空度。基本型可达10-6Pa真空度,特殊要求时可达10-7Pa以上; 2)大抽速。对空气尤其是对水蒸汽具有超高的抽速,其它真空泵不可比拟; 3)真正洁净。 4)运行成本低 5)安全可靠 6)使用方便 7)使用寿命长 |
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