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真空扩散泵金属油扩散泵常用于要求抽气时间和排气量大的场合。的详细信息油扩散真空泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵,简称油扩散泵。其原理是在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。 影响扩散泵性能的主要因素有: (1)扩散泵油蒸气的返流,解决的方法是在真空系统上加装冷阱,能有效地防止油蒸气的返流。 (2)气体分子的反扩散,通过在高真空机组中增加罗茨泵或双机械泵,增大前级泵的抽速,降低扩散泵出气口的压力,这样不仅可减少气体分子的反扩散,而且还能减少油蒸气的返流。 (3)扩散泵油的裂化分解,采用合格的扩散泵油防止裂化分解。 (4)扩散泵脏化,污染物留在泵内重复循环,应对扩散泵进行清洗,并更换泵油。 |
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